
为什么我们要对每一个晶圆加热器进行测试?这对您来说又有什么重要性呢?
在晶圆加热领域,容错率极低。哪怕有微小的电气泄漏,整批硅片就会报废。 正因如此,我们不会只选择部分产品进行测试,而是会对所有出厂的加热元件进行100%的耐压测试和绝缘电阻测试。没有任何例外。 “电弧”带来的危险 为了减小尺寸,带电导体与接地底盘之间的间隙非常小。如果绝缘层出现故障,就会产生电弧。 这不仅仅是加热器损坏的问题——电弧还可能破坏晶圆本身。为避免这种情况发生,我们会让绝缘层承受远高于正常使用条件下的电压,从而确保其在电压突变时不会失效。 寻找“泄漏点” 事实上,即使加热器通过了耐压测试,仍可能存在泄漏现象。 我们通过兆欧表来测量绝缘电阻,以此发现那些肉眼看不见的缺陷——比如微小的杂质或封装材料中的水分。如果绝缘电阻过低,电流就会渗入设备外壳中。 这将导致电气干扰。对于敏感的半导体设备来说,这种干扰简直就是噩梦。如果某个产品的绝缘电阻未达到最低标准,那它就会被淘汰。就这么简单。 实话实说:工厂里的实际情况 严格的测试确实能够检测出那种“千分之一的缺陷”。不过说实话,我们的测试只能覆盖到我们负责的部分。 您的接线和连接器也必须能承受同样的电压水平。如果使用的导线规格不足或连接不牢固,那就会造成安全隐患,而这种问题是我们无法解决的。我们提供了安全保障,但最终的可靠性还是要取决于您如何将它们集成到系统中。 我们的目标很明确:我们在工厂里完成质量控制工作,这样您就不必在机器调试期间花费时间去解决电气故障问题了。 这样,当分析故障时,您就不必再为加热器的问题而操心了。