在使用红外线加热技术进行晶圆清洗时，如何确保安全呢？ 说实话，将红外线灯置于含有易燃或易爆化学物质的环境中，实在是一件令人担心的事情。只要有一点点火花，或者灯壳出现细微裂缝，那就不仅是工具损坏的问题了，而是可能引发灾难。 为了解决这个问题，我们会在电路部件周围构建一个“防护层”。我们采用特殊的封装...

在晶圆制造过程中，晶圆干燥或光阻烘烤时的温度波动不仅仅是SPC图表上的一个小波动而已。实际上，这会导致产量下降。我们设计的这种高温加热解决方案采用了短波红外线加热技术，因为这种技术能够在不直接接触晶圆的情况下，快速且稳定地为晶圆提供热量。 关键点在于： 短波红外线能量可以迅速穿透晶圆和胶带层，从而...