在光刻工艺中，无论是在软烘烤还是硬烘烤过程中，温度出现半摄氏度左右的波动都绝非“小误差”。这样的波动会改变光刻胶的流动性，进而影响关键尺寸的控制，最终导致产品合格率下降。在生产线上，这直接意味着产品报废、需要返工，以及生产进度延迟。我们设计的晶圆表面张力测量加热器，就是为了在热量影响到晶圆之前就将其控制住。
从技术角度来说，什么是最重要的？
我们使用石英材质的短波红外元件来产生热量，这样一来，加热过程既快速又干净，不会产生任何颗粒物。在整个工作区域内，晶圆的温度均匀性可保持在±0.1摄氏度左右，而且每次运行的重复性都很高。该加热器专为1-100级洁净室环境设计，其材料具有低排气特性，表面处理也有效减少了颗粒物的生成。它的尺寸符合标准规格，可以轻松与现有的涂覆/烘烤设备相连接。
为什么它能用于光刻胶处理呢？因为所有相关参数都受温度影响——溶剂的去除、粘度以及表面张力都是由温度和时间决定的。只要能够稳定控制烘烤过程，就能获得稳定的线宽和边缘效果。这样一来，产品的合格率就会提高，废品率也会降低。快速的升温控制以及稳定的工作状态还能降低能耗，同时确保设备能够24/7持续运行。
实际应用方面：
安装时，只需将电源和控制信号与主机系统连接起来，然后根据光刻胶的特性调整合适的温度设置即可。如果不能确保反应腔室的密封性和气流状况，就很容易出现局部温度不均匀的情况。因此，最好提前规划好集成方案，并在实际大规模生产之前验证各项参数是否合适。