洁净室烤箱红外线加热器

为什么我们在洁净室中选择红外固化技术 说实话，传统的对流式烤箱实在不可取。它们通过加热空气来达到固化效果，这就好比用大型吹风机来给整个房间供暖一样。这种做法会消耗大量能源，而且还会产生大量颗粒物，这些颗粒物会破坏晶圆的质量。显然，这并不是洁净室里应该使用的方案。 因此，我们转而使用红外加热器。与其...