可与真空环境配合使用的红外加热器

在真空环境下保持清洁 如果你在100级洁净室或高真空环境中对工件进行加热，那你肯定知道会有多糟糕：哪怕只有一粒灰尘或少量气体泄漏出来，整批产品都会报废。 普通的红外灯根本无法满足这种需求。因为它们通常使用低质量的粘合剂或玻璃材料，一旦受热就会开始释放气体。这无疑会导致晶圆损坏，同时也会浪费大量时间...