在真空环境下保持清洁
如果你在100级洁净室或高真空环境中对工件进行加热，那你肯定知道会有多糟糕：哪怕只有一粒灰尘或少量气体泄漏出来，整批产品都会报废。
普通的红外灯根本无法满足这种需求。因为它们通常使用低质量的粘合剂或玻璃材料，一旦受热就会开始释放气体。这无疑会导致晶圆损坏，同时也会浪费大量时间。
为什么材料如此重要
我们选择高纯度的熔融石英作为灯管材料。它与普通石英有很大不同。由于杂质含量极低，所以当灯管因受热而膨胀或收缩时，不会产生任何微小颗粒。
此外，我们还去掉了所有有机粘合剂。在产品送达之前，我们会对其进行彻底的烘干处理。这样，就不必担心挥发性有机化合物会泄漏到真空环境中，从而破坏整个环境。
真空环境下的特殊要求
在真空中，灯的工作方式与在空气中时有所不同。由于没有空气来带走热量，灯的外壳会变得非常热。你必须确保冷却系统能够有效散热。如果试图使用高功率灯管而不配备良好的散热结构，那么灯管的密封件很可能会被烧毁。
我们还会特别注意钨丝与石英之间的密封性。在真空环境中，哪怕有极小的泄漏点，也意味着整个腔室会被污染。
如何避免麻烦地安装这些设备
在接线时，尽量避免使用塑料扎带和PVC绝缘的电线。因为它们很快就会融化并释放气体。最好使用PTFE或不锈钢材质的绝缘材料。
最棒的是，这类灯采用直接辐射加热的方式。也就是说，它们直接加热工件本身，而不是周围的空气。在洁净室中，这种方式能大大减少因空气流动而产生的灰尘问题。
这样一来，你就能实现理想的热控制效果，同时保持ISO等级不变。