为何我们选择用红外线技术来固化晶圆
近年来，人们越来越倾向于使用红外线技术来进行固化处理。这其实是很合理的——既然没必要使用有害的化学溶剂，也没必要留下大量的碳排放，那何必这么做呢？
红外线技术的原理其实相当巧妙。它不需要加热整个烤箱空间，也不需要浪费能量在加热空气上，而是直接利用电磁波照射晶圆表面。这种方式非常精准且高效。
“绿色”干燥方式
如果你曾经使用过传统的对流式干燥方式，那么你就知道那种方法的弊端：热空气会四处散播，造成资源浪费。而红外线技术则完全不同。它利用短波辐射直接作用于涂层或光刻胶上，因此能够更快地达到目标温度。此外，由于不需要依赖燃烧气体或含铅催化剂，所以完全符合当今全球工厂所要求的“环保标准”。
距离与热量的平衡问题
不过，这里有个难题：红外线灯与晶圆之间的距离非常重要。如果距离过近，就会导致局部过热，甚至烧毁晶圆；而如果距离过远，则会导致处理效率下降，从而带来经济损失。我们必须仔细调整这个参数，确保每平方厘米所需的功率恰到好处。
另外，还要注意热量密度的问题。那些高功率的石英灯虽然能产生强大的热量，但也会给冷却系统带来很大负担。如果冷却系统无法应对这么高的热量，那么电子元件就会出现故障，进而引发更多的问题。
现实情况
虽然红外线技术很环保，但它并非万能的解决方案。最大的挑战在于如何实现均匀的固化效果。因为红外线是沿直线传播的，所以哪怕有微小的阴影或灯光位置稍有偏差，都会导致固化不均匀。为了解决这个问题，必须确保晶圆保持完全平整的状态。
我建议使用闭环PID控制器，这样可以保持温度稳定，避免在最后阶段出现过度升温的情况。