用于光刻机的石英玻璃防护罩

保持环境清洁：为何我们使用高纯度石英作为加热介质 在100级洁净室中，加热的目的不仅仅是让物体变热，更重要的是要防止颗粒物的侵入。 在这样的环境中，普通的加热元件简直就是灾难——它们会释放出各种杂质，还会散发出挥发性有机化合物，这些物质会在短时间内破坏一批晶圆。为避免这种情况，我们将红外灯置于高纯...