线性红外加热发射器

在光刻车间，您可以听到烤箱在循环运作，而生产线处于待机状态。当光刻胶烘烤曲线偏移时，产量会受到影响——每次一度。您需要的是一个尊重晶圆热预算而非腔体的热源。 技术意义 我们构建的线性红外加热器基于近红外（NIR）波长，因此能量直接进入光刻胶和基板堆叠。这提供了亚秒级响应、紧密的热控制，以及在活性烘...