椭偏法晶圆探针加热器

在光刻工艺中，即使在软烘烤过程中只有半度的偏差，也足以导致光阻层的厚度出现异常。为此，我们设计了椭圆偏振仪用晶圆探针加热器，以便在偏差出现之前就加以抑制。该加热器的设计充分考虑了晶圆干燥、光阻预烘烤以及曝光后的烘烤过程中的温度特性——因为在这些过程中，温度的均匀性直接决定了设备的性能。 关键所在...