晶圆氧化加热元件

简介 我们直接进入主题吧。在半导体晶圆氧化处理过程中，加热元件并非单纯的零部件，而是整个炉子的核心所在。因此，我们决定在家里自行制造卤素加热灯——因为工业界需要一种能够在极端高温环境下仍能稳定工作的设备。其目的就是确保晶圆上的温度保持极度均匀，误差控制在±0.1℃以内。 我们是如何做到这一点的呢？...