在真空环境下保持清洁 如果你在100级洁净室或高真空环境中对工件进行加热，那你肯定知道会有多糟糕：哪怕只有一粒灰尘或少量气体泄漏出来，整批产品都会报废。 普通的红外灯根本无法满足这种需求。因为它们通常使用低质量的粘合剂或玻璃材料，一旦受热就会开始释放气体。这无疑会导致晶圆损坏，同时也会浪费大量时间...

停止浪费时间等待晶圆加热吧！ 如果你们仍然依赖热空气循环来处理半导体，那其实就是在为“时间成本”买单。 试想一下，强制空气对流的方式：首先需要将整个腔室加热，然后再加热气体，最后还要等待热量渗透到晶圆上。这个过程既缓慢又繁琐。 而真空红外线加热则省去了中间环节——无需等待空气流动，红外线可以直接将...