高效晶圆烘干灯泡

观察一片300mm晶圆从最终漂洗阶段出来。如果表面残留任何水分，晶圆将直接进入光刻胶烘烤阶段——而这些水分会形成缺陷。在Class 1–100级洁净室内，干燥灯泡不仅仅是一个加热器，更是一个工艺关口。 关键技术指标 我们设计的高效晶圆干燥灯泡以稳定的红外输出和严格的温控为核心。卤素灯元件密封在石英...