红外晶圆加热灯的成本

在光刻生产线上，情况很容易失控。哪怕温度只偏离半度，都可能影响到晶圆的尺寸精度。如果照明灯在工作过程中出现故障，整个生产流程就会停止。红外加热灯的实际成本并非仅仅体现在其标价上，还包括因故障导致的停产时间、被报废的晶圆，以及为维持稳定状态而消耗的能源。 真正重要的因素是什么？ 我们设计的这些红外灯...