防止固化系统变成“巨大散热器”
红外灯的问题在于：如果没有反射器的话，它们就会像散热器一样，将热量向四面八方散发出去。
如果你是负责设计的工程师，那可真是糟糕的情况。如果你在固化室中使用高功率的红外灯，那些无法照射到晶圆上的热量就会全部作用于机器的内壁。这样一来，原本昂贵的机器外壳就变成了散热器。很快，机器的外壳就会变得非常热，甚至可能烫伤操作人员。这显然不是好事。
让热量集中到正确的位置
解决这个问题的方法很简单：为红外灯配备精确的反射器。这就好比用闪光灯而不是普通灯泡来照明——反射器可以将光线集中起来，而不是让光线四处散射。这样，热量就能集中在晶圆表面，而不会浪费掉。这样一来，机器的各部件就不会因为过热而受损，机器的壁面也会保持凉爽状态，操作人员也就不必担心会被烫伤了。
需要注意的问题及解决方法
不过，这种方法也有其缺点。大多数反射器都需要使用高纯度的铝或金涂层，这样才能让短波红外光发挥最佳效果。虽然这样的反射器效果很好，但它们对污染很敏感。如果表面有灰尘或化学残留物，其效率就会下降。此时，腔室内的温度也会上升，因为反射器开始吸收热量而非将其向外散发。所以，必须定期清洁反射器。
另外，还要注意冷却风扇的情况。由于能量被集中到了较小的区域内，如果传送带的速度不合适，晶圆就有可能过热。因此，需要密切监控晶圆在腔室内的停留时间。当然，要确保能够很好地控制热量分布。