晶圆加热的安全距离

为何我们选择用红外线技术来固化晶圆 近年来，人们越来越倾向于使用红外线技术来进行固化处理。这其实是很合理的——既然没必要使用有害的化学溶剂，也没必要留下大量的碳排放，那何必这么做呢？ 红外线技术的原理其实相当巧妙。它不需要加热整个烤箱空间，也不需要浪费能量在加热空气上，而是直接利用电磁波照射晶圆表...