晶圆表面张力测量加热器

在光刻工艺中，无论是在软烘烤还是硬烘烤过程中，温度出现半摄氏度左右的波动都绝非“小误差”。这样的波动会改变光刻胶的流动性，进而影响关键尺寸的控制，最终导致产品合格率下降。在生产线上，这直接意味着产品报废、需要返工，以及生产进度延迟。我们设计的晶圆表面张力测量加热器，就是为了在热量影响到晶圆之前就将...