Evatec 蒸发器加热灯

在生产车间，光刻胶烘烤温度的漂移达到0.5°C就足以导致大量废料的产生。您正在运行Evatec蒸发器，而热预算是固定的。加热灯是工艺意图实际作用于晶圆的地方。如果有一点偏差，光刻叠加会受到影响，边缘排除问题开始出现。 什么才是真正重要的 Evatec蒸发器的加热灯是围绕所需的薄膜沉积和光刻胶热特性...