ウェーハ表面張力測定用ヒーター

リソグラフィーにおいて、ソフトベイクやハードベイクの際に半度程度の温度変動があっても、それは「小さな誤差」とは言えません。このような温度変動により、フォトレジストの流れが変わり、重要な寸法制御が乱れ、結果として歩留まりが低下します。実際の生産現場では、これがスクラップや再加工、工程の遅延につながり...