真空加熱における清潔さの維持 クラス100のクリーンルームや高真空チャンバー内で部品を加熱する場合、一つのほこりの粒子やわずかなガスの発生だけで、全体の製品が台無しになってしまいます。 一般的なIRランプは、このような状況には適していません。ほとんどのランプは安価な接着剤や品質の悪いガラスを使用し...

ウエハーが加熱されるのを待って時間を無駄にするのはやめましょう。 もしまだ半導体の処理に熱風を利用しているのであれば、それはまさに「時間の税金」を支払っているようなものです。 強制送風方式を考えてみてください。まずチャンバ全体を加熱し、次にガスを加熱し、その後でようやくその熱がウエハーに伝わるのを...