なぜ無鉛チップの製造に赤外線硬化方式が採用されるのか 「グリーン」で無鉛の半導体製造プロセスへの移行は、単なるトレンドではなく、業界が進むべき方向です。長い間、私たちは対流式オーブンを利用してきました。しかし正直なところ、ウェーハを乾燥させるために大量の空気を加熱するのは無駄です。時間もかかり、電...

なぜ、すべてのウェーハヘーターをテストするのか（そして、それがあなたにとってなぜ重要なのか） ウェーハ加熱の分野では、許容範囲は極めて狭い。わずかな電気的漏れがあっただけで、一括りのシリコン製品が廃棄されてしまうのだ。 だからこそ、私たちは「サンプルテスト」を行わない。数個だけをチェックして、うま...

なぜウェーハの硬化処理に赤外線を利用するのか？ 最近、赤外線による硬化処理がますます重視されています。それには理由があります。わざわざ有害な化学溶剤を使ったり、余計な炭素排出を招く必要はないのです。 赤外線の原理はとても巧妙です。巨大なオーブン室を温めてエネルギーを無駄にする代わりに、電磁波を使っ...

あなたの硬化処理システムが巨大なヒーターに変わってしまうのを防ぎましょう。 赤外線ランプの問題点は、反射器がないと、まるでラジエーターのように機能してしまうことです。つまり、熱があらゆる方向に放出されてしまいます。 もしあなたがその設計責任者なら、それは大変な問題です。高ワット数のランプを硬化処理...

ウェーハの洗浄に赤外線加熱を利用する際の安全性の確保 正直に言って、可燃性や爆発性のある洗浄剤が入った装置の中に赤外線ランプを取り付けるのは、とても危険なことです。ほんのわずかな火花やランプの筐体に微細なひび割れが生じただけで、装置が壊れるだけでなく、大惨事につながりかねません。 私たちは、電気部...

リソグラフィーの現場では、状況がどれほど急速に悪化しうるかわかります。たとえわずか半度でも温度が変動するだけで、ウェーハの重要な寸法に影響が出ます。また、加熱中にランプの性能が低下してしまうと、工程が止まってしまいます。赤外線ウェーハヒーターランプの実際のコストというのは、単なる購入価格だけではあ...

リソグラフィーにおいて、ソフトベイクやハードベイクの際に半度程度の温度変動があっても、それは「小さな誤差」とは言えません。このような温度変動により、フォトレジストの流れが変わり、重要な寸法制御が乱れ、結果として歩留まりが低下します。実際の生産現場では、これがスクラップや再加工、工程の遅延につながり...

リソグラフィーの工程において、ソフトベイクの際にわずか0.5度のずれが生じるだけで、本来制御されているフォトレジストの厚みが不安定になってしまいます。そうしたずれを防ぐために、エリプソメトリー用ウェーハプローブヒーターが開発されました。このヒーターは、ウェーハの乾燥過程やフォトレジストの事前加熱、...

製造現場において、クリーニング工程を経たウェハも、完全に乾燥して初めて本当に清潔な状態と言えます。残留する水分や微小な汚れ、表面張力の不均一さは、後工程でフォトレジストの付着不良やリソグラフィー時の欠陥として現れます。プロセスの精度が2nm未満になると、通常の回転式乾燥法では対応できません。その根...

最終リンスから出てくる300mmウェーハを観察する。表面に水分が残っていると、そのままフォトレジストベークに進み、その水分が欠陥になる。クラス1–100のクリーンルームでは、ドライヤーバルブは単なるヒーターではなく、プロセスのゲートである。 実際に重要なポイント 高効率ウェーハドライヤーバルブは、...