リソグラフィーにおいて、ソフトベイクやハードベイクの際に半度程度の温度変動があっても、それは「小さな誤差」とは言えません。このような温度変動により、フォトレジストの流れが変わり、重要な寸法制御が乱れ、結果として歩留まりが低下します。実際の生産現場では、これがスクラップや再加工、工程の遅延につながります。私たちは、ウェーハ表面の張力を測定するヒーターを開発し、熱的なばらつきがウェーハに影響を与える前にそれを防ぎます。
技術的に重要な点 私たちは、石英を基材とした構造の短波長赤外線センサーを使用しているため、加熱が迅速かつクリーンに行われ、粒子が発生する心配もありません。アクティブエリア全体でのウェーハ表面の均一性は±0.1℃以内で維持され、繰り返し測定時でも安定した結果が得られます。このヒーターは、クラス1～100の清浄室での使用に適しており、ガス放出量が少なく、表面の仕上げも優れているため、粒子の発生を抑えることができます。また、標準的なサイズであり、既存のコーティング/ベイク装置とも簡単に接続できます。
フォトレジスト処理においてこのヒーターが有効な理由は、すべての要素が温度に敏感だからです。溶剤の除去、粘度、表面張力などは、すべて温度と時間によって決まります。ベイクプロファイルを安定させることで、予測可能な線幅やエッジの形状を得ることができます。その結果、ばらつきが減少し、制御範囲が狭まり、スクラップも減少します。また、迅速な温度調整と安定した動作により、エネルギー消費も削減されます。信頼性に関しても、24時間365日の稼働が目標となっています。
実用面でのポイント 設置時には、パワーや制御信号をホストプラットフォームに合わせる必要があります。また、レジストスタックに最適な温度設定を行う必要があります。チャンバーの密封性や空気の流れを確認しないと、局所的な温度勾配が生じてしまいます。早期に統合計画を立て、大量生産に移る前に、具体的なフィルムスタックに合ったプロファイルを検証することが重要です。