ウェーハの洗浄に赤外線加熱を利用する際の安全性の確保 正直に言って、可燃性や爆発性のある洗浄剤が入った装置の中に赤外線ランプを取り付けるのは、とても危険なことです。ほんのわずかな火花やランプの筐体に微細なひび割れが生じただけで、装置が壊れるだけでなく、大惨事につながりかねません。 私たちは、電気部...

ファブ内では、ウェーハの乾燥やフォトレジストの焼成時の温度変動は、SPCチャート上のわずかなばらつきに過ぎません。実際には、それによって歩留まりが低下してしまいます。私たちが開発した高温用サーマルテープは、短波長の赤外線を利用しており、基板に触れることなく安定して迅速に熱を供給できます。 重要なポ...