エリプソメトリウェーハプローブヒーター

リソグラフィーの工程において、ソフトベイクの際にわずか0.5度のずれが生じるだけで、本来制御されているフォトレジストの厚みが不安定になってしまいます。そうしたずれを防ぐために、エリプソメトリー用ウェーハプローブヒーターが開発されました。このヒーターは、ウェーハの乾燥過程やフォトレジストの事前加熱、...