ウェーハ処理装置用温度センサー

ウェーハの洗浄に赤外線加熱を利用する際の安全性の確保 正直に言って、可燃性や爆発性のある洗浄剤が入った装置の中に赤外線ランプを取り付けるのは、とても危険なことです。ほんのわずかな火花やランプの筐体に微細なひび割れが生じただけで、装置が壊れるだけでなく、大惨事につながりかねません。 私たちは、電気部...