化学洗浄エリアでのランプの安定した使用方法 正直に言って、可燃性の化学物質の周りで赤外線ヒーターを使うのは非常に危険な作業です。工場内に爆発性の蒸気が充満している状況では、通常の石英ランプは単なる道具ではなく、かえって危険源になります。ちょっとした火花でも大きな問題を引き起こす可能性があります。...

リソグラフィーの工程において、フォトレジストの加熱処理は単なるウォームアップではありません。これは、重要な寸法を正確に制御するための重要な工程です。ソフトベイクでは2℃ほどのバラつきが生じ、それによって回路の線幅もナノメートル単位で変化してしまいます。私たちは、このようなバラつきを排除するために、...