なぜ、すべてのウェーハヘーターをテストするのか（そして、それがあなたにとってなぜ重要なのか） ウェーハ加熱の分野では、許容範囲は極めて狭い。わずかな電気的漏れがあっただけで、一括りのシリコン製品が廃棄されてしまうのだ。 だからこそ、私たちは「サンプルテスト」を行わない。数個だけをチェックして、うまくいくことを願うのではないのだ。私たちの工場を出るすべての加熱素子は、100％の耐圧試験および絶縁抵抗試験を受ける。例外はない。 アーク現象の危険性 コンパクトな設計のため、帯電した導体と接地されたシャーシとの間の距離はごくわずかです。そのため、絶縁が破壊されるとアーク現象が発生します。 それは単にヘーターが壊れるというだけではありません。アーク現象によってウェーハ自体が損傷する可能性もあります。そのような事態を防ぐために、私たちは絶縁材に極限まで負荷をかけます。通常の使用時よりもはるかに高い電圧をかけて、電力の急激な変動時にも絶縁材が壊れないようにするのです。 「漏れ」の検出 実は、ヘーターが耐圧試験に合格しても、「漏れ」がある場合があります。 絶縁抵抗をメガオーム単位で測定することで、目に見えない微細な汚染物質や、封止剤内に閉じ込められた水分などを検出します。もしその抵抗値が低すぎると、電流が装置の筐体に流れ込んでしまいます。 これにより電気的なノイズが発生します。センシティブな半導体装置にとって、ノイズは大きな問題です。もし装置の性能が私たちの基準に達しなければ、それは不合格です。簡単ですよね。 現場での実情 厳格なテストによって、「千分の一の不良品」も見つけ出すことができます。しかし正直に言えば、私たちのテストでは問題の一部しか把握できません。 お客様が使用する配線やコネクタも、同じ電圧レベルに耐えられる必要があります。もし不適切な接続部品や不十分な圧着処理を使っていると、工場でのテストでは解決できない弱点ができてしまいます。私たちは安全マージンを提供しますが、最終的な信頼性は、お客様がそれを自社のシステムにどのように組み込むかにかかっています。 目標は簡単です。私たちが工場内で品質管理を行うことで、お客様が機械の調整中に電気的な問題を解決する手間を省けるようにするのです。 つまり、故障を分析する際に、ヘーターのことを心配しなくて済むようにするのです。