高効率ウェハードライヤーバルブ

最終リンスから出てくる300mmウェーハを観察する。表面に水分が残っていると、そのままフォトレジストベークに進み、その水分が欠陥になる。クラス1–100のクリーンルームでは、ドライヤーバルブは単なるヒーターではなく、プロセスのゲートである。 実際に重要なポイント 高効率ウェーハドライヤーバルブは、...