标签为“价格”的页面如下 RTP系统灯的最佳价格 在生产车间,快速热处理过程中的一次温度波动足以导致光刻关键尺寸的漂移,并使大量晶圆报废。您需要的是瞬时加热、稳定保持和反复循环的热处理。我们制造的RTP灯系统能够在不超出生产预算的情况下实现这种控制。 技术要点 我们将您的RTP平台与短波卤素或中波灯光源相匹配,调校以实现快速升温速率和稳定的稳态控... Read more...
RTP系统灯的最佳价格 在生产车间,快速热处理过程中的一次温度波动足以导致光刻关键尺寸的漂移,并使大量晶圆报废。您需要的是瞬时加热、稳定保持和反复循环的热处理。我们制造的RTP灯系统能够在不超出生产预算的情况下实现这种控制。 技术要点 我们将您的RTP平台与短波卤素或中波灯光源相匹配,调校以实现快速升温速率和稳定的稳态控... Read more...