製造現場において、RTPの温度変動は単なるグラフ上の数値としてだけでなく、フォトレジストの焼成過程や重ね合わせエラーとしても現れます。ランプの性能が低下すると、熱の均一性が失われ、プロセスの許容範囲が急速に狭まってしまいます。私たちは、このような状況を防ぐために、迅速な熱サイクルが規定範囲内で行え...

ファブフロアにおける温度管理 急速熱処理中の1回の温度逸脱で、リソグラフィのクリティカル寸法がずれ、多くのウェーハが廃棄されることがあります。必要なのは、瞬時に加熱し、安定して保持し、サイクル毎に繰り返す熱です。私たちは、ファブの予算を破ることなく、その制御を提供するRTPランプシステムを構築して...