ウェーハの乾燥やフォトレジストの硬化処理、パッケージの硬化処理の際には、熱管理が不可欠です。わずか数度の温度変動でも、回路の寸法が変わったり、残留物が残ったり、接合部が弱くなったりする可能性があります。そうした問題を解決するために、私たちはセラミック製のエンドキャップを用いて、照射点での熱を安定さ...

リソグラフィーの現場では、ラインがアイドル状態の間、オーブンのサイクル音が聞こえます。フォトレジストの焼成プロファイルがずれると、歩留まりが影響を受けます—1度ずつ。必要なのは、チャンバーではなくウエハの熱バジェットを考慮した熱源です。 技術的に重要なこと 我々は、エネルギーがフォトレジストと基板...