リニア赤外線ヒーター

リソグラフィーの現場では、ラインがアイドル状態の間、オーブンのサイクル音が聞こえます。フォトレジストの焼成プロファイルがずれると、歩留まりが影響を受けます—1度ずつ。必要なのは、チャンバーではなくウエハの熱バジェットを考慮した熱源です。 技術的に重要なこと 我々は、エネルギーがフォトレジストと基板...