ウェーハ酸化用ヒーター素子

はじめに さっそく本題に入りましょう。半導体ウェーハの酸化処理において、加熱要素は単なる部品に過ぎないわけではありません。それはファーネスの核心部分なのです。 そのため、業界では極端な高温環境でも問題なく動作できる加熱器具が求められていました。つまり、ウェーハ全体にわたって温度を±0.1℃という極...