無駄な待ち時間をなくそう：なぜ赤外線加熱が最適なのか 多くの半導体製造ラインでは、依然として熱風を使った加熱方式が採用されている。特に古い設備ではよく見られるが、正直、非効率的だ。 強制送風に頼ると、物理法則に逆らっていることになります。ワークピースが熱を感じる前に、チャンバー内の空気全体を温めな...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もし半導体製造工場を運営しているなら、製品が台無しになってしまうという恐怖をご存知でしょう。クラス100の環境では、わずかなガス放出やヒーターから発生する微粒子だけで、製品の品質が悪化してしまいます。 一般的なヒーターは、このような状況に...

ファブ内での炭素排出量を削減する：なぜカーボンファイバー式赤外線ランプが効果的なのか 半導体製造施設で働いたことがある人なら、温度制御の難しさをご存知でしょう。これは常に解決すべき課題です。長年にわたり、私たちは従来の抵抗加熱器やガスオーブンを利用してきましたが、これらはエネルギーの消費量が非常に...

クリーンを保つために：なぜファブ内の加熱に高純度の石英が使われるのか クラス100のクリーンルームで作業する際、加熱というのは単に物を温めるだけではありません。それは、粒子との絶え間ない戦いでもあるのです。 通常の加熱素子は、このような環境では大敵です。それらは自体から微粒子を放出し、揮発性有機化...

なぜ、すべてのランプをテストするのか（そして、なぜそれが重要なのか） 私たちの工場から出荷されるすべての加熱ランプは、2つの厳しいテストを受けます。それは、高電圧耐性試験と絶縁抵抗試験です。 もしこれらのランプをファブで使用しているのであれば、その重要性はお分かりでしょう。高ワット数の部品が狭い空...

オーブンを待つのはやめましょう：なぜIR加熱が熱風加熱より優れているのか もし依然として半導体処理に熱風循環を利用しているのであれば、それは単に待つしかないということです。 実際、熱風は効率が悪いのです。対流を利用するため、まず空気を加熱し、その後でその空気が部品を加熱するのです。これは中間段階が...

是非を説く 持続可能な製造環境を実現するために工業用加熱ランプを開発する際、私たちは余計なことにはこだわりません。信頼性というのは単なるスローガンではなく、最低限必要な条件です。 ランプが出荷される前には、100％の誘電強度および絶縁抵抗テストが行われます。一切の除外や妥協はありません。これは非常...

ファブ内では、ウェーハの乾燥やフォトレジストの焼成時の温度変動は、SPCチャート上のわずかなばらつきに過ぎません。実際には、それによって歩留まりが低下してしまいます。私たちが開発した高温用サーマルテープは、短波長の赤外線を利用しており、基板に触れることなく安定して迅速に熱を供給できます。 重要なポ...

ファブフロアでは、ダイアタッチステーションがダイが基板に着地し、接着剤がそれを固定する場所である。ボンドラインでの一度の温度スパイクやホットスポットにより、接着剤は瞬時に硬化不足または過硬化を起こす可能性がある。硬化不足は剥離やワイヤースイープを引き起こし、過硬化は揮発成分を放出し、空洞発生を誘発...