無駄な待ち時間をなくそう：なぜ赤外線加熱が最適なのか
多くの半導体製造ラインでは、依然として熱風を使った加熱方式が採用されている。特に古い設備ではよく見られるが、正直、非効率的だ。
強制送風に頼ると、物理法則に逆らっていることになります。ワークピースが熱を感じる前に、チャンバー内の空気全体を温めなければならないのです。これは非常に時間がかかり、面倒な作業です。そして、生産現場では、このような待ち時間は単なる無駄なコストに過ぎません。
中間業者を排除する
赤外線加熱は、空気を温める代わりに、電磁波を介して直接基板にエネルギーを送り込みます。待つ必要もなく、「部屋全体を温める」必要もありません。
私たちは、そのエネルギーを効率的に集中させるために、ステンレス鋼を使ってヒーターのケースを作っています。精密に製造された反射板を使えば、赤外線を正確に対象物に当てることができます。
その結果、温度上昇にかかる時間はほぼ瞬時です。従来の対流式オーブンと比べて、加熱時間を40％から70％も短縮できます。大量生産を行っている場合、1時間に処理できるウェーハの数が大幅に増えます。
ハードウェアの側面
私たちは、単に適当な箱に製品を入れるだけではありません。高温になっても変形したり酸化したりしない高品質なステンレス鋼を使用しています。
このケースはいわば熱遮断装置の役割を果たし、熱が適切な場所に留まり、周囲の電子機器に影響を与えるのを防ぎます。
さらに、床面積も節約できます。赤外線システムは、巨大な送風ダクトがある従来のシステムよりもずっとスリムです。
ただし、赤外線は方向性があるため、部品の形状が複雑だったり深い部分がある場合、光が届かない「寒い部分」ができてしまうことがあります。そのため、ランプの配置を慎重に考える必要があります。つまり、熱がすべての場所に均等に届くようにしなければなりません。
切り替える方法
赤外線加熱に切り替えるのは、一般的には比較的簡単です。送風機やダクトを取り除き、コントローラーを接続し、ケースを設置するだけです。
一度切り替えれば、空気の流れやCFMの心配は不要になります。代わりに、ワット密度や波長のマッチングに注意する必要があります。
波長が材料に合っていないと、熱は跳ね返ってしまいます。正しく設定すれば、プロセスはスムーズに進みます。