ウェーハ用高精度IRセンサー
なぜ無鉛チップの製造に赤外線硬化方式が採用されるのか
「グリーン」で無鉛の半導体製造プロセスへの移行は、単なるトレンドではなく、業界が進むべき方向です。長い間、私たちは対流式オーブンを利用してきました。しかし正直なところ、ウェーハを乾燥させるために大量の空気を加熱するのは無駄です。時間もかかり、電...
水素センサー製造用ヒーター
壁を加熱するのをやめよう:水素センサーをより効率的に作る方法 もし水素センサーの製造に携わったことがあるなら、熱による問題がどれほど厄介かを知っているはずです。一般的な加熱要素は、実質的に大きなラジエーターのようなもので、エネルギーをあちこちに放出してしまいます。
問題点は、高価な半導体部品が巨大...
ウェーハ処理装置用温度センサー
ウェーハの洗浄に赤外線加熱を利用する際の安全性の確保
正直に言って、可燃性や爆発性のある洗浄剤が入った装置の中に赤外線ランプを取り付けるのは、とても危険なことです。ほんのわずかな火花やランプの筐体に微細なひび割れが生じただけで、装置が壊れるだけでなく、大惨事につながりかねません。
私たちは、電気部...