クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために
もし半導体製造工場を運営しているなら、製品が台無しになってしまうという恐怖をご存知でしょう。クラス100の環境では、わずかなガス放出やヒーターから発生する微粒子だけで、製品の品質が悪化してしまいます。
一般的なヒーターは、このような状況には適していません。高温になるとすぐに劣化したり、不純物が漏れ出したりします。これは大変な問題です。
そのため、私たちは高純度の合成石英を使用しています。
なぜこの素材が重要なのか
私たちは、金属不純物がほぼ含まれていない融結シリカを使用しています。なぜかというと、それによってウェハーが汚染されることがないからです。
一般的なガラスや安価な石英では、継続的な熱循環に耐えられません。そうすると「ほこり」が発生し、最終的には目に見えない汚染が生じてしまいます。
私たちのランプは短波長の赤外線を利用しています。対象物の周囲の空気を温めるのではなく、エネルギーを直接基板に送り込みます。そのおかげで、クリーンルーム内の空気の流れが安定し、環境も安定したままです。
設置方法
これらのランプは、そのまま取り替え可能に設計されています。装置全体を再構築する必要はありません。さまざまなワット数や長さのものがあるので、既存の設備にぴったり合います。
私たちは標準的なR7またはSk15コネクタを使用しています。これらは信頼性が高く、アークや酸化が起きず、安定した電気接続が維持されます。
ちなみに、長いケーブルを使用する場合は、電圧降下に注意してください。高出力のランプは安定した電力を必要とします。電源が不安定だと、基板に不均一な熱がかかってしまいます。
注意点
高純度の石英の欠点は、非常にもろいということです。極端な高温に耐えられますが、振動や乱暴な扱いには弱いです。丁寧に扱ってください。
設置する際は、必ず真空吸引ツールを使用してください。絶対に手で石英に触れないでください。皮膚から出る油分が「ホットスポット」を作り、ランプの寿命を著しく短縮させてしまいます。
また、冷却ファンもしっかり確認してください。チャンバーの壁面から反射する熱に耐えられるかどうかを確認し、ランプの端が過熱しないようにしてください。