赤外線ウェーハヒーターランプのコスト

リソグラフィーの現場では、状況がどれほど急速に悪化しうるかわかります。たとえわずか半度でも温度が変動するだけで、ウェーハの重要な寸法に影響が出ます。また、加熱中にランプの性能が低下してしまうと、工程が止まってしまいます。赤外線ウェーハヒーターランプの実際のコストというのは、単なる購入価格だけではあ...