ディスプレイドライバIC処理ヒーター

配線工程においては、ディスプレイドライバIC用のウェーハは、温度変動に対して非常に敏感です。たとえ0.5℃の偏差があっても、フォトレジストの厚みが不安定になります。その結果、露光の精度も低下してしまいます。 乾燥工程では、水分が完全に除去されないと、微小な橋渡し現象が起こります。これは、数週間後に...