氮化镓 GaN MOCVD加热器

在晶圆制造过程中，如果在GaN外延生长过程中温度出现几度的波动，那不仅会影响产品的良率，甚至会导致整个生产过程失败。此时，无法控制晶圆的厚度，也无法保证其电阻值的稳定性。这样一来，客户所期望的优质产品就根本无法实现。 技术上需要考虑的因素 我们采用了GaN MOCVD红外加热器，通过精确控制的短波...