在芯片制造过程中，热控制是不可或缺的。在晶圆干燥、光刻胶固化或封装处理过程中，哪怕只有几度的温度变化，都可能影响芯片的关键尺寸，留下残留物，或削弱芯片各部分的连接强度。我们设计了陶瓷端盖式红外发射器，通过精准控制关键区域的热量分布来消除这些不稳定因素。 在实际应用中，最重要的是重复性。陶瓷端盖能够...

在光刻车间，您可以听到烤箱在循环运作，而生产线处于待机状态。当光刻胶烘烤曲线偏移时，产量会受到影响——每次一度。您需要的是一个尊重晶圆热预算而非腔体的热源。 技术意义 我们构建的线性红外加热器基于近红外（NIR）波长，因此能量直接进入光刻胶和基板堆叠。这提供了亚秒级响应、紧密的热控制，以及在活性烘...