왜 우리는 무연 칩 제조를 위해 적외선 기술을 사용하는가? “친환경적이고 무연인 반도체 생산 방식”으로의 전환은 단순한 트렌드가 아니라, 업계가 나아가야 할 방향입니다. 오랫동안 우리는 대류식 오븐을 사용해왔습니다. 하지만 솔직히 말해서, 웨이퍼를 건조시키기 위해 엄...

왜 모든 웨이퍼 히터를 반드시 테스트해야 하는가? (그리고 그것이 왜 중요한가?) 웨이퍼 가열 분야에서는 오차의 여지가 극히 적습니다. 아주 작은 전기 누설이라도 발생하면, 그 순간 전체 실리콘 제품군이 폐기되는 것입니다. 그래서 우리는 ‘샘플 테스트’를 하지 않습니...

왜 웨이퍼의 경화 과정에 적외선 기술을 사용하는가? 최근에는 적외선을 이용한 경화 방식이 점점 더 많이 활용되고 있습니다. 그 이유는 명백합니다. 굳이 유해한 화학 용제를 사용하거나, 불필요하게 탄소 배출량을 늘릴 필요가 없으니까요. 적외선의 작동 원리는 매우 효율적...

치유 시스템이 거대한 히터로 변하는 것을 막으세요. 적외선 램프의 문제점은, 반사판이 없으면 마치 라디에이터처럼 작동하여 열을 사방으로 방출한다는 것입니다. 만약 여러분이 이 시스템을 설계하는 엔지니어라면, 이는 정말 골칫거리가 될 것입니다. 고출력 램프를 치유 챔버...

웨이퍼 세척에 적외선 가열을 사용할 때 안전을 지키는 방법 솔직히 말해서, 인화성이나 폭발성이 있는 세척제가 들어 있는 도구 안에 적외선 램프를 넣는 것은 매우 위험한 일입니다. 작은 스파크라도 발생하거나 램프의 외관에 균열이 생기면, 그건 단순히 도구가 고장난 것이...

리소그래피 공정에서는 상황이 얼마나 빨리 악화될 수 있는지 아시다시피 합니다. 단 몇 도만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 또한, 램프가 작동 중에 문제가 생기면 공정이 멈추게 됩니다. 적외선 웨이퍼 히터 램프의 진짜 비용은 그 제품의 가격뿐만이 아닙니다...

리소그래피에서는 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중에 약 0.5도 정도의 온도 변화도 “작은 오차”로 간주될 수 없습니다. 이러한 온도 변화는 포토레지스트의 흐름을 변화시키고, 치수 제어를 어렵게 만들며, 최종 제품의 품질도 저하시킵니다. 생산 현장에서는 이러한 문...

리소그래피 공정에서는, 소프트 베이크 과정 중에 단지 0.5도만큼의 변동이 있어도, 정밀하게 제어된 포토레지스트의 두께가 변할 수 있습니다. 엘립소메트리 웨이퍼 프로브 히터는 바로 그러한 변동을 사전에 방지하기 위해 만들어졌습니다. 이 장치는 웨이퍼 건조, 포토레지스...

300mm 웨이퍼가 최종 린스 공정을 통과하는 모습을 관찰한다. 표면에 물기가 남아 있으면, 이는 바로 포토레지스트 베이크 공정으로 유입되어 결함으로 이어진다. Class 1–100 클린룸 환경에서 드라이어 벌브는 단순한 히터가 아니다. 이는 공정의 관문 역할을 한다...