적외선 웨이퍼 히터 램프의 비용

리소그래피 공정에서는 상황이 얼마나 빨리 악화될 수 있는지 아시다시피 합니다. 단 몇 도만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 또한, 램프가 작동 중에 문제가 생기면 공정이 멈추게 됩니다. 적외선 웨이퍼 히터 램프의 진짜 비용은 그 제품의 가격뿐만이 아닙니다...