청소 후 웨이퍼 건조 램프
실제로는, 세척 후의 헹굼 과정도 그 다음에 이어지는 건조 과정의 품질에 달려 있습니다. 열 제어가 제대로 이루어지지 않으면 물자국이나 표면 장력의 불균일성, 그리고 미세한 오염물들이 생길 수 있습니다. 우리는 세척 후의 이러한 변동성을 줄이기 위해 웨이퍼 건조용 램...
청소한 후 웨이퍼를 어떻게 건조시키나요
생산 현장에서는, 클린룸에서 나온 웨이퍼가 완전히 건조될 때까지는 진정으로 깨끗한 상태라고 할 수 없습니다. 남아 있는 물방울 자국, 미세한 얼룩, 혹은 표면 장력의 불균일성은 이후에 포토레지스트 부착 문제나 리소그래피 과정에서의 결함으로 나타납니다. 프로세스의 정밀...