와이어 표면 장력 측정용 히터

리소그래피에서는 소프트 베이크나 하드 베이크 과정 중에 약 0.5도 정도의 온도 변화도 “작은 오차”로 간주될 수 없습니다. 이러한 온도 변화는 포토레지스트의 흐름을 변화시키고, 치수 제어를 어렵게 만들며, 최종 제품의 품질도 저하시킵니다. 생산 현장에서는 이러한 문...