치유 시스템이 거대한 히터로 변하는 것을 막으세요.
적외선 램프의 문제점은, 반사판이 없으면 마치 라디에이터처럼 작동하여 열을 사방으로 방출한다는 것입니다.
만약 여러분이 이 시스템을 설계하는 엔지니어라면, 이는 정말 골칫거리가 될 것입니다. 고출력 램프를 치유 챔버에 설치하면, 웨이퍼에 닿지 못한 에너지는 기계의 내부 벽에 부딪힙니다. 그 결과, 값비싼 기계의 프레임이 열을 흡수하게 되고, 결국 외부 패널의 온도가 너무 높아져서 작업자들이 화상을 입을 수도 있습니다. 이건 좋지 않습니다.
열을 적절한 곳에 집중시키기
해결책은 간단합니다. 그 램프와 함께 정밀한 반사판을 사용하는 것입니다. 이는 마치 손전등의 빛을 집중시키는 것과 같습니다. 반사판은 빛을 그냥 반사하는 것이 아니라, 그 에너지를 한 점에 집중시킵니다.
이렇게 하면 열이 웨이퍼 표면에만 남게 됩니다. 그러면 “낭비되는 열”이 기계의 하드웨어에 영향을 주는 것을 막을 수 있습니다. 그 결과, 기계의 온도가 안정되고, 벽면도 시원하게 유지됩니다. 그래서 작업자들도 기계 프레임을 만져도 괜찮습니다.
단점 및 대처 방법
다만, 한 가지 단점이 있습니다. 대부분의 반사판은 단파 적외선을 최대한 효과적으로 활용하기 위해 고순도 알루미늄이나 금으로 만들어집니다. 이 반사판들은 매우 효과적이지만, 섬세한 관리가 필요합니다.
만약 표면에 먼지나 화학 물질이 쌓이면, 반사율이 떨어집니다. 그러면 챔버 내부의 온도가 상승합니다. 반사판이 열을 밖으로 내보내는 대신 흡수하기 시작하기 때문입니다. 반드시 반사판을 깨끗하게 유지해야 합니다.
또 한 가지, 냉각 팬도 잘 확인해야 합니다. 더 많은 에너지가 좁은 공간에 집중되므로, 컨베이어의 속도가 적절하지 않으면 웨이퍼가 과열될 수 있습니다. 따라서 웨이퍼가 머무는 시간을 주의 깊게 관리해야 합니다.