真空加熱における清潔さの維持
クラス100のクリーンルームや高真空チャンバー内で部品を加熱する場合、一つのほこりの粒子やわずかなガスの発生だけで、全体の製品が台無しになってしまいます。
一般的なIRランプは、このような状況には適していません。ほとんどのランプは安価な接着剤や品質の悪いガラスを使用しており、温度が上がるとすぐにガスが漏れ出します。これではウェーハが損傷し、多くの時間が無駄になってしまいます。
材料が重要な理由
私たちは、チューブとして高純度の融成シリカを使用しています。これは通常の石英とは異なります。不純物の含有量が非常に少ないため、加熱時にも微細な粒子が放出されることはありません。
また、組み立て時にはあらゆる有機系の接着剤や接着物を取り除きます。すべての部品は、お客様の手元に届く前に徹底的に乾燥処理されます。そうすれば、揮発性有機化合物（VOC）が真空内に漏れ出して環境を汚染する心配もありません。
真空環境での実際の状況
実際、真空環境下ではランプの動作は通常の空気中とは異なります。空気が熱を運ぶ役割を果たさないため、ランプの外殻が非常に高温になります。
したがって、冷却システムが十分に機能するかどうかを確認する必要があります。もし、端子部分に十分な放熱装置がなければ、ランプが壊れてしまう可能性があります。
私たちは、タングステンフィラメントと石英との接合部分にも細心の注意を払っています。真空環境下では、わずかな隙間からの漏れも大問題です。それは、チャンバー全体が汚染されることを意味します。
面倒を避けて設置する方法
これらのランプを接続する際は、プラスチック製の紐やPVCコーティングされたワイヤーは使わない方が良いです。これらはすぐに溶けてガスが漏れ出してしまいます。代わりにPTFEやステンレス鋼を使用しましょう。
最も良い点は、これらのランプが直接放射熱を利用することです。つまり、周囲の空気ではなく、部品自体を加熱するのです。クリーンルームにおいては、これは大きな利点です。なぜなら、床のほこりが舞い上がることが少なくなるからです。
これにより、必要な熱制御が可能となり、ISOクラスも適切に保たれます。