クリーンルーム内のトロリーを安全に保つ（そしてウェーハも無事に保つ） 半導体製造のクリーンルームでは、その重要性は計り知れません。わずかな電気的放電や粒子の飛散だけで、大量のウェーハが台無しになってしまいます。これは本当に恐ろしい状況です。 だからこそ、私たちはトロリー用のヒーターには細心の注意を...

なぜクリーンルームでは赤外線による硬化処理が採用されているのか？ 正直に言って、従来の対流式オーブンは使いづらいものです。空気を加熱する方式なので、まるで巨大なヘアドライヤーを使って部屋を温めようとしているようなものです。多大なエネルギーが無駄に消費されますし、何よりも、微粒子が発生してウェーハを...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もし半導体製造工場を運営しているなら、製品が台無しになってしまうという恐怖をご存知でしょう。クラス100の環境では、わずかなガス放出やヒーターから発生する微粒子だけで、製品の品質が悪化してしまいます。 一般的なヒーターは、このような状況に...

装置の壁に熱を無駄にしないでください。 ほとんどの加熱素子は、熱をあちこちに放出してしまいます。クリーンルームではこれは大きな問題です。高価な半導体機器がその余分な熱を吸収してしまい、それは単なるエネルギーの無駄遣いだけでなく、機械のケースが手で触れるほど熱くなり、操作する人にとっても安全上の危険...