在光刻生产线上，RTP温度的波动不仅会体现在图表上，还会表现为光阻烘烤过程中的偏差以及图案对位错误。当灯管性能下降时，温度均匀性就会遭到破坏，进而导致工艺窗口迅速缩小。我们设计的这些替代灯管，能够确保在连续多轮生产过程中，温度始终处于理想范围内，从而避免出现各种问题。 核心要点 我们为卤素灯管设计...

在生产车间，快速热处理过程中的一次温度波动足以导致光刻关键尺寸的漂移，并使大量晶圆报废。您需要的是瞬时加热、稳定保持和反复循环的热处理。我们制造的RTP灯系统能够在不超出生产预算的情况下实现这种控制。 技术要点 我们将您的RTP平台与短波卤素或中波灯光源相匹配，调校以实现快速升温速率和稳定的稳态控...