用于光刻机的石英玻璃防护罩
保持环境清洁:为何我们使用高纯度石英作为加热介质
在100级洁净室中,加热的目的不仅仅是让物体变热,更重要的是要防止颗粒物的侵入。
在这样的环境中,普通的加热元件简直就是灾难——它们会释放出各种杂质,还会散发出挥发性有机化合物,这些物质会在短时间内破坏一批晶圆。为避免这种情况,我们将红外灯置于高纯...
石英加热器
核心要素解析:功率、电压与尺寸 在设计这些石英加热器时,我们的核心目标很明确:如何在有限空间内实现强大加热能力。
参数来看:400V,2500W,装配在300mm的管体上。这意味着大量热能集中在紧凑的占地面积内。其优势是加热器升温迅速,同时占用空间小。
至于400V的选择,适用于使用400V三相电...